原子力顯微鏡（平板掃描式）WY- LSCL-AFM

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◆性能特點：
實現(xiàn)探針和樣品組合式移動掃描的商業(yè)化原子力顯微鏡。
采用三軸獨立閉環(huán)壓電平移式掃描臺，實現(xiàn)大范圍高精度掃描。
三軸獨立式掃描，XYZ互不影響，非常適合三維材料及形貌檢測。
電動控制樣品移動臺和升降臺，可任意編程多點位置實現(xiàn)快速自動化檢測。
龍門架式掃描頭設(shè)計，大理石底座，真空吸附和磁性吸附式載物臺。
馬達(dá)自動控制加壓電陶瓷自動探測的智能進(jìn)針方式，保護(hù)探針及樣品。
高倍輔助光學(xué)顯微定位，實時觀測與定位探針以及樣品掃描區(qū)域。
閉環(huán)壓電掃描臺無需非線性校正，納米表征和測量精度優(yōu)于99.5%。

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◆性能特點：
實現(xiàn)探針和樣品組合式移動掃描的商業(yè)化原子力顯微鏡。

采用三軸獨立閉環(huán)壓電平移式掃描臺，實現(xiàn)大范圍高精度掃描。

三軸獨立式掃描，XYZ互不影響，非常適合三維材料及形貌檢測。

電動控制樣品移動臺和升降臺，可任意編程多點位置實現(xiàn)快速自動化檢測。

龍門架式掃描頭設(shè)計，大理石底座，真空吸附和磁性吸附式載物臺。

馬達(dá)自動控制加壓電陶瓷自動探測的智能進(jìn)針方式，保護(hù)探針及樣品。

高倍輔助光學(xué)顯微定位，實時觀測與定位探針以及樣品掃描區(qū)域。

閉環(huán)壓電掃描臺無需非線性校正，納米表征和測量精度優(yōu)于99.5%。

◆測量范圍及應(yīng)用：

測量范圍：二維、三維、Z值、相位、表面形貌、粗糙度、膜厚、形貌、相位。

應(yīng)用：納米材料、石墨烯、薄膜、鈍化膜、短切玻纖復(fù)材、分子篩、TiO2、CrPS4（15）、CrPS4（16）、中空纖維膜絲、粗糙度測試、四氧化三鐵、M13-PBA等。

◆ 應(yīng)用案例 Application Case

微信圖片_20220424160112.png

序號	名稱	技術(shù)參數(shù)
01	工作模式	接觸模式、輕敲模式
02	選配模式	摩擦力/側(cè)向力、振幅/相位、磁力/靜電力
03	力譜曲線	F-Z力曲線、RMS-Z曲線
04	XY掃描方式	樣品驅(qū)動式掃描，閉環(huán)壓電平移式掃描臺
05	Z掃描方式	探針驅(qū)動式掃描
06	XY掃描范圍	閉環(huán)100×100um
07	Z掃描范圍	10um
08	掃描分辨率	閉環(huán)XY向0.5nm，Z向0.05nm
09	XY樣品臺	步進(jìn)電機驅(qū)動控制，移動精度1um
10	XY移動行程	100×100mm（可選200×200mm，300×300mm）
11	樣品載物臺	直徑100mm（可選200mm，300mm）
12	樣品重量	≤0.5Kg
13	Z升降臺	步進(jìn)電機驅(qū)動控制，很小步長10nm
14	Z升降行程	15mm（可選20mm，25mm）
15	光學(xué)定位	10X光學(xué)物鏡
16	攝像頭	500萬像素數(shù)字CMOS
17	掃描速率	0.6Hz~30Hz
18	掃描角度	0~360°
19	運行環(huán)境	Windows XP/7/8/10操作系統(tǒng)
20	通信接口	USB2.0/3.0
21	儀器結(jié)構(gòu)	龍門架式掃描頭，大理石底座
22	減震方式	氣浮式減震臺+金屬屏蔽隔音箱（可選主動式減震臺）