◆性能特點：
實現(xiàn)探針和樣品組合式移動掃描的商業(yè)化原子力顯微鏡。

采用三軸獨立閉環(huán)壓電平移式掃描臺，實現(xiàn)大范圍高精度掃描。

三軸獨立式掃描，XYZ互不影響，非常適合三維材料及形貌檢測。

電動控制樣品移動臺和升降臺，可任意編程多點位置實現(xiàn)快速自動化檢測。

龍門架式掃描頭設(shè)計，大理石底座，真空吸附和磁性吸附式載物臺。

馬達自動控制加壓電陶瓷自動探測的智能進針方式，保護探針及樣品。

高倍輔助光學(xué)顯微定位，實時觀測與定位探針以及樣品掃描區(qū)域。

閉環(huán)壓電掃描臺無需非線性校正，納米表征和測量精度優(yōu)于99.5%。

 ◆測量范圍及應(yīng)用：

測量范圍：二維、三維、Z值、相位、表面形貌、粗糙度、膜厚、形貌、相位。

應(yīng)用：納米材料、石墨烯、薄膜、鈍化膜、短切玻纖復(fù)材、分子篩、TiO2、CrPS4（15）、CrPS4（16）、中空纖維膜絲、粗糙度測試、四氧化三鐵、M13-PBA等。

◆ 應(yīng)用案例 Application Case